HIO-elementen

U bevindt zich hier:

Sinds kort heeft ASML zijn nieuwe Generic Standards of ASML (GSA) vrijgegeven. In deze GSA wordt net als bij eerdere versies onderscheid gemaakt in verschillende reinheidsklasses. Vrijwel alle onderdelen voor ASML moeten worden geproduceerd aan de hand van deze reinheidsklasses.

In het geval van Vacuum Cleanliness Grade 1, de strengste reinheidsklasse, zijn HIO-elementen. HIO-elementen zijn elementen welke van invloed zijn bij Hydrogen Induced Outgassing (HIO). De EUV-bundels in de machines van ASML creëren waterstof radicalen uit een waterstofgasomgeving. Dit zorgt voor een reactie met bepaalde materialen. Door deze reactie ontstaan gassen welke schade aanbrengen op de optische onderdelen uit de machine.

Welke elementen?

Niet alle elementen uit het periodieke stelsel zijn van belang. De volgende 14 elementen gaan in de toekomst van invloed zijn op productieprocessen:

  • Zink (Zn)
  • Indium (In)
  • Lood (Pb)
  • Tin (Sn)
  • Zwavel (S)
  • Fosfor (P)
  • Silicium (Si)
  • Fluor (F)
  • Chloor (Cl)
  • Natrium (Na)
  • Calcium (Ca)
  • Stikstof (N)
  • Magnesium (Mg)
  • Mangaan (Mn)

Om HIO-elementen te meten wordt gebruik gemaakt van een X-ray Photoelectron Spectoscopy (XPS). De resultaten van deze meting mogen maximaal de volgende waarden geven:

  • Zn, Sn, Pb, In: 0,1 at%
  • Mn: 0,2 at%
  • F, Cl: 0,3 at%
  • S, P, Si, Na, Ca, Mg: 0,5 at%
  • N: 1,0 at%

Produceren volgens Grade 1 eis

Door de verscherpte eisen omtrent vacuum cleanliness grade 1 en HIO-elementen is het van belang om te produceren met de juiste vloeistoffen. Bij het verspanen kunt u gebruik maken van de Emulcut-serie. Wanneer vloeistoffen zoekt voor (tussen)reiniging van onderdelen bevelen wij Feroclean-reinigingsvloeistoffen aan. Beide productievloeistoffen zijn geschikt voor Grade 1 cleanliness en zijn in combinatie met demi-water zeer geschikt.

Meer informatie?

Wilt u meer informatie over HIO-elementen, grade 1 eisen of de juiste producten voor vacuum cleanliness grade 1? Neem vrijblijvend contact op via info@2-s.eu of bel naar +31 492 590 443.

Aantal keer bekeken 136