HIO-elementen

2-S Service & Specialties

HIO-elementen

Sinds kort heeft ASML zijn nieuwe Generic Standards of ASML (GSA) vrijgegeven. In deze GSA wordt net als bij eerdere versies onderscheid gemaakt in verschillende reinheidsklasses. Vrijwel alle onderdelen voor ASML moeten worden geproduceerd aan de hand van deze reinheidsklasses.

In het geval van Vacuum Cleanliness Grade 1, de strengste reinheidsklasse, zijn HIO-elementen relevant. HIO-elementen zijn elementen welke van invloed zijn bij Hydrogen Induced Outgassing (HIO). De EUV-bundels in de machines van ASML creëren waterstof radicalen uit een waterstofgasomgeving. Dit zorgt voor een reactie met bepaalde materialen en elementen. Door deze reactie ontstaan gassen welke schade aanbrengen op de optische onderdelen uit de machine.

Zie meer

Welke elementen?

Niet alle elementen uit het periodieke stelsel zijn van belang. De volgende 14 elementen gaan in de toekomst van invloed zijn op productie- en reinigingsprocessen:

  • Zink (Zn)
  • Indium (In)
  • Lood (Pb)
  • Tin (Sn)
  • Zwavel (S)
  • Fosfor (P)
  • Silicium (Si)
  • Fluor (F)
  • Chloor (Cl)
  • Natrium (Na)
  • Calcium (Ca)
  • Stikstof (N)
  • Magnesium (Mg)
  • Mangaan (Mn)

Om HIO-elementen te meten wordt gebruik gemaakt van een X-ray Photoelectron Spectoscopy (XPS). De resultaten van deze meting mogen maximaal de volgende waarden geven:

  • Zn, Sn, Pb, In: 0,1 at%
  • Mn: 0,2 at%
  • F, Cl: 0,3 at%
  • S, P, Si, Na, Ca, Mg: 0,5 at%
  • N: 1,0 at%

Produceren volgens Grade 1 eis

De verscherpte eisen leiden tot schoner verspanen. Het belang van de juiste vloeistoffen wordt al maar groter. Recent heeft 2-S Service & Specialties het gehalte HIO-elementen in de Emulcut- en Feroclean-serie laten bepalen. Uitkomsten geven aan dat zowel de Emulcut 160 als Feroclean N 404 uitermate geschikt zijn voor Grade 1 cleanliness. Het lage gehalte aan HIO-elementen zorgt voor een verlaagd risico in de productie. Wilt u de onderzoeksrapporten inzien? Neem contact met ons op.

Meer informatie?

Wilt u meer informatie over HIO-elementen, grade 1 eisen of de juiste producten voor vacuum cleanliness grade 1? Neem vrijblijvend contact op via info@2-s.eu of bel naar +31 492 590 443.

Zie meer

2-S helpt u

Vragen over dit onderwerp? Stel je vraag of neem vrijblijvend contact op