--- description: "HIO-elementen zijn van groot belang bij de productie van semi-conductor onderdelen. Meer informatie over deze 14 elementen vind u hier." title: "HIO-elementen" author: "jotten" published at: "2022-08-03 16:54:50" image: "https://2-s.eu/wp-content/uploads/2022/09/05A0139-scaled.jpg" url: "https://2-s.eu/kennisbank/productie-kwaliteit/hio-elementen/" markdown url: "https://2-s.eu/kennisbank/productie-kwaliteit/hio-elementen.md" --- HIO-elementen | Vacuum cleanliness Grade 1 | 2-S Service & Specialties [Ga naar de inhoud](#content) [ ![](https://2-s.eu/wp-content/uploads/2022/04/2S_logo-horizontaal-wit.png) ](/home) [ +31 (0)492 590 443 ](tel://0031-(0)492590443) [ info@2-s.eu ](mailto:info@2-s.eu) [ ](mailto:info@2-s.eu) [ ](tel:+31492%20590%20443) # HIO-elementen [Home](https://2-s.eu/) » [Kennisbank](https://2-s.eu/kennisbank/) » HIO-elementen [ Heb je vragen? ](https://2-s.eu/contact/) 2-S Service & Specialties ## HIO-elementen In het geval van Vacuum Cleanliness Grade 1, de strengste reinheidsklasse, zijn HIO-elementen relevant. HIO-elementen zijn elementen welke van invloed zijn bij Hydrogen Induced Outgassing (HIO). De EUV-bundels in de machines van [ASML](http://www.asml.com) creëren waterstof radicalen uit een waterstofgasomgeving. Dit zorgt voor een reactie met bepaalde materialen en elementen. Door deze reactie ontstaan gassen welke schade aanbrengen op de optische onderdelen uit de machine. [![](https://2-s.eu/wp-content/uploads/2022/08/05a0482-1024x683-1.jpg)](https://2-s.eu/wp-content/uploads/2022/08/05a0482-1024x683-1.jpg) [![](https://2-s.eu/wp-content/uploads/2022/09/05A0139-scaled.jpg)](https://2-s.eu/wp-content/uploads/2022/09/05A0139-scaled.jpg) [![](https://2-s.eu/wp-content/uploads/2022/09/2-S-BV-10-02-2020-Foto-Dave-van-Hout-0457-scaled.jpg)](https://2-s.eu/wp-content/uploads/2022/09/2-S-BV-10-02-2020-Foto-Dave-van-Hout-0457-scaled.jpg) [ Neem contact op ](/contact/) [ Lees meer ](#lees-meer) ![](https://2-s.eu/wp-content/uploads/2022/03/512x512px-favicon-01.png) Zie meer [![](https://2-s.eu/wp-content/uploads/2022/08/productie-logo-1024x536-1.jpg)](https://2-s.eu/kennisbank/praktijkcases-2-s-bv/emulcut-160-bij-coolen-engineering/)Praktijkcases 2-S B.V. ### [ Langere standtijd gereedschappen bij Coolen Engineering ](https://2-s.eu/kennisbank/praktijkcases-2-s-bv/emulcut-160-bij-coolen-engineering/) [![](https://2-s.eu/wp-content/uploads/2022/08/KMWE.jpg)](https://2-s.eu/kennisbank/praktijkcases-2-s-bv/pre-cleaning-al5083-grade-1-onderdelen-bij-kmwe/)Praktijkcases 2-S B.V. ### [ Pré-cleaning Al5083 Grade 1 onderdelen bij KMWE ](https://2-s.eu/kennisbank/praktijkcases-2-s-bv/pre-cleaning-al5083-grade-1-onderdelen-bij-kmwe/) ### Welke elementen? Niet alle elementen uit het periodieke stelsel zijn van belang. De volgende 14 elementen gaan in de toekomst van invloed zijn op productie- en reinigingsprocessen: - Zink (Zn) - Indium (In) - Lood (Pb) - Tin (Sn) - Zwavel (S) - Fosfor (P) - Silicium (Si) - Fluor (F) - Chloor (Cl) - Natrium (Na) - Calcium (Ca) - Stikstof (N) - Magnesium (Mg) - Mangaan (Mn) Om HIO-elementen te meten wordt gebruik gemaakt van een X-ray Photoelectron Spectoscopy (XPS). De resultaten van deze meting mogen maximaal de volgende waarden geven: - Zn, Sn, Pb, In: 0,1 at% - Mn: 0,2 at% - F, Cl: 0,3 at% - S, P, Si, Na, Ca, Mg: 0,5 at% - N: 1,0 at% ### Produceren volgens Grade 1 eis De verscherpte eisen leiden tot schoner verspanen. Het belang van de juiste vloeistoffen wordt al maar groter. Recent heeft 2-S Service & Specialties het gehalte HIO-elementen in de Emulcut- en Feroclean-serie laten bepalen. Uitkomsten geven aan dat zowel de Emulcut 160 als Feroclean N 404 uitermate geschikt zijn voor Grade 1 cleanliness. Het lage gehalte aan HIO-elementen zorgt voor een verlaagd risico in de productie. Wilt u de onderzoeksrapporten inzien? Neem [contact](/contact/) met ons op. ### Meer informatie? Wilt u meer informatie over HIO-elementen, grade 1 eisen of de juiste producten voor vacuum cleanliness grade 1? Neem vrijblijvend [contact](/contact/) op via of bel naar [+31 492 590 443](tel:+31492590443). [ Terug naar kennisbank ](/kennisbank/) Zie meer [![](https://2-s.eu/wp-content/uploads/2022/08/productie-logo-1024x536-1.jpg)](https://2-s.eu/kennisbank/praktijkcases-2-s-bv/emulcut-160-bij-coolen-engineering/)Praktijkcases 2-S B.V. ### [ Langere standtijd gereedschappen bij Coolen Engineering ](https://2-s.eu/kennisbank/praktijkcases-2-s-bv/emulcut-160-bij-coolen-engineering/) [![](https://2-s.eu/wp-content/uploads/2022/10/Aluro-CNC.jpg)](https://2-s.eu/kennisbank/schone-werkstukken-en-machines-bij-aluro-cnc/)Praktijkcases 2-S B.V. ### [ Schone werkstukken en machines bij Aluro CNC ](https://2-s.eu/kennisbank/schone-werkstukken-en-machines-bij-aluro-cnc/) ### 2-S helpt u ### Vragen over dit onderwerp? Stel je vraag of neem vrijblijvend contact op - [ +31 (0)492 590 443 ](tel://0031-(0)492%20590%20443) - [ info@2-s.eu ](mailto:info@2-s.eu) Zoeken [ Volledige kennisbank ](/kennisbank/) [ Meer informatie ](#lees-meer) > Generated for use by Large Language Models (LLMs). > Generated: 2026-10-31 13:09:01 > Maintained by: 2-S Service & Specialties > Source: https://2-s.eu/ > Contact: info@2s-eu